КАДАММ МПТ-12-CVD — CVD-система на базе трубчатой печи до 1200 °C, труба Ø50–100 мм

Name: КАДАММ МПТ-12-CVD — CVD-система на базе трубчатой печи до 1200 °C, труба Ø50–100 мм
Brand: КАДАММ
SKU: МПТ-12-CVD

Производитель:КАДАММ

Артикул: МПТ-12-CVD

KADAMM МПТ-12-CVD — техническое описание (PDF)

Каталог KADAMM «Лабораторные печи» (PDF)

Количество

Отправить заявку

КАДАММ · Трубчатые печи

КАДАММ МПТ-12-CVD — CVD-системы на базе трубчатой печи 1200 °C, Ø50–100 мм

Установки CVD для осаждения покрытий из газовой фазы: в одну систему собраны трубчатая печь на нагрев до 1200 °C, газовые линии с расходомерами и вакуумная магистраль. Диаметр трубы Ø50–100 мм; зона нагрева 420 мм, одна или две зоны; 3 газовых канала. Фланцы снимаются за секунды, муллитовая футеровка формована под вакуумом, нагрев ведётся по программе.

До 1200 °CØ50–100 ммзона нагрева 420 мм, одна или две зоны; 3 газовых каналаВакуум −0.1 МПа (форвакуум)

▤

Составьте спецификацию под вашу лабораторию16 моделей и количество · нестандартное исполнение · другое оборудование КАДАММ. Спецификация в PDF или Excel сразу, КП в течение рабочего дня.

1200 °C

Максимальная температура

1200 °C

Длительная работа

Ø50–100 мм

Диаметр рабочей трубы

−0.1 МПа (форвакуум)

Вакуум

тип S

Термопара

3–3.2 кВт

Мощность

Артикулы серии

Исполнение \ Объём	Ø50 мм	Ø60 мм	Ø80 мм	Ø100 мм
Базовое, 1 зона	КАДАММ МПТ-12-50-CVD	КАДАММ МПТ-12-60-CVD	КАДАММ МПТ-12-80-CVD	КАДАММ МПТ-12-100-CVD
Сенсорная панель — С, 1 зона	КАДАММ МПТ-12-50С-CVD	КАДАММ МПТ-12-60С-CVD	КАДАММ МПТ-12-80С-CVD	КАДАММ МПТ-12-100С-CVD
Базовое, 2 зоны	КАДАММ МПТ-12-50-2-CVD	КАДАММ МПТ-12-60-2-CVD	КАДАММ МПТ-12-80-2-CVD	КАДАММ МПТ-12-100-2-CVD
Сенсорная — С, 2 зоны	КАДАММ МПТ-12-50С-2-CVD	КАДАММ МПТ-12-60С-2-CVD	КАДАММ МПТ-12-80С-2-CVD	КАДАММ МПТ-12-100С-2-CVD

Артикул = серия + Ø трубы + [С] + [-2] + CVD. Скопируйте артикул и отправьте на info@kadamm.com.

О серии

КАДАММ МПТ-12-CVD — cvd-системы на базе трубчатой печи с нагревом до 1200 °C. Внутри печи, футерованной поликристаллическим муллитовым волокном, стоит рабочая труба (кварц, длина 1000 мм); нагревательные элементы: нагревательная проволока, зона 420 мм, температуру измеряет термопара типа S. Фланцы быстрого съёма позволяют откачать трубу до −0.1 МПа (форвакуум) либо продуть её газом, поэтому образец обрабатывается в управляемой среде.

Подача газа: каналов не больше трёх, на каждом расходомер и массовый регулятор расхода (MFC); на входе при работе давление 0.05–0.3 МПа. Вакуумная линия собрана на KF-соединениях с быстрым разъёмом. Нагревом управляет PID-регулятор, программа задаётся сегментами; печь защищена от перегрева и от обрыва термопары.

Зона нагрева 420 мм, одна или две зоны; 3 газовых канала. Вакуумный насос мы подбираем под конкретный процесс — обратитесь к менеджеру.

В CVD-комплексе печь, вакуумная линия и газовая обвязка заранее подогнаны нами друг к другу: собирать установку из разрозненных узлов самому не придётся.

Конструктивные особенности

Муллитоволоконная футеровкаФормуется под вакуумом: температура по объёму ровная, а энергии уходит меньше — экономия свыше 50%.

Фланцы быстрого съёмаТрубу меняют и образцы закладывают руками, инструменты не нужны; при откачке уплотнители не пропускают воздух.

Нагреватель нагревательнаяНагревательная проволока, зона 420 мм.

Нагрев по программеРегулирование по PID; расход газа в каждом канале виден на цифровом индикаторе.

Защитные функцииПри перегреве, обрыве термопары или утечке тока питание снимается автоматически.

Технические характеристики

Параметр	Ø50	Ø60	Ø80	Ø100
Труба (нар./внутр.), мм	Ø50/43×1000	Ø60/53×1000	Ø80/72×1000	Ø100/92×1000
Артикул — базовое, 1 зона	КАДАММ МПТ-12-50-CVD	КАДАММ МПТ-12-60-CVD	КАДАММ МПТ-12-80-CVD	КАДАММ МПТ-12-100-CVD
Артикул — сенсорная панель (С), 1 зона	КАДАММ МПТ-12-50С-CVD	КАДАММ МПТ-12-60С-CVD	КАДАММ МПТ-12-80С-CVD	КАДАММ МПТ-12-100С-CVD
Артикул — базовое, 2 зоны	КАДАММ МПТ-12-50-2-CVD	КАДАММ МПТ-12-60-2-CVD	КАДАММ МПТ-12-80-2-CVD	КАДАММ МПТ-12-100-2-CVD
Артикул — сенсорная панель (С), 2 зоны	КАДАММ МПТ-12-50С-2-CVD	КАДАММ МПТ-12-60С-2-CVD	КАДАММ МПТ-12-80С-2-CVD	КАДАММ МПТ-12-100С-2-CVD
Диапазон температур	300–1200 °C
Зона нагрева / пост. темп.	420 мм / 210 мм (1 зона), 280 мм (2 зоны)
Нагрев пустой печи	≤15 мин
Скорость нагрева с трубой	до 500 °C — ≤5; 500–800 — ≤10; 800–1000 — ≤5; 1000–1200 °C — ≤2 °C/мин
Максимальный вакуум	−0.1 МПа
Рабочее давление на входе	0.05–0.3 МПа (изб.)
Газовые каналы	3 (число каналов — под задачу); цифровые расходомеры
Мощность	3 кВт (1 зона) / 3.2 кВт (2 зоны)
Габариты (Ш×Г×В), мм	770×580×778
Масса	210 кг
Сертификаты и декларации	ISO 9001; для рынка ЕАЭС — декларация по ТР ТС 004/2011 и ТР ТС 020/2011

Буква «С» в артикуле означает сенсорную панель, окончание «-2» — две зоны нагрева, окончание «-CVD» — печь в составе системы подачи газов. Текущие значения подтвердит менеджер.

▤

Спецификация КАДАММ МПТ-12-CVDМодели и количество, нестандартное исполнение и всё остальное для лаборатории — одним документом. Скачайте в PDF или Excel либо отправьте на КП.

Где применяется

Плёнки и покрытия методом CVDСлои карбида кремния, оксидов и нитридов при дозированной подаче прекурсоров.

НаноматериалыПолучение наноструктур (к примеру, ZnO) и процессы с графеном.

Спекание в атмосфереФункциональная керамика, многослойные керамические конденсаторы (MLCC).

Вузы и материаловедениеВысокотемпературные эксперименты в учебных и научных лабораториях.

Небольшие образцыПорошки и гранулы, стекло и керамика в тиглях-лодочках.

Преимущества серии

✓

Рабочая труба Ø50–100 мм

✓

Зона нагрева 420 мм, одна или две зоны; 3 газовых канала

✓

Откачка до −0.1 МПа (форвакуум) либо газовая продувка

✓

Фланцы с быстрым съёмом

✓

Футеровка, формованная под вакуумом

✓

ISO 9001, декларация ЕАЭС по ТР ТС

Серии печей КАДАММ

Параметр	КАДАММ МПТ-12-CVD	КАДАММ МПТ-12	КАДАММ МПТ-14-CVD	КАДАММ МПТ-16-CVD
Тип	CVD-комплекс 1200 °C	трубчатая 1200 °C, откидного типа	CVD-комплекс 1400 °C	CVD-комплекс 1600 °C
Температура / объём	Ø50–100 мм	Ø50–100 мм	Ø40–80 мм	Ø50–100 мм
Исполнения	— / С · зон: 1–2	— / С · зон: 1–2	— / С	— / С · зон: 1–2
Нагреватель и питание	газ: 3 канала · 3–3.2 кВт	длина зоны 420 мм · 3–3.2 кВт	газ: 3 канала · 3–5 кВт	газ: 3 канала · 4–10 кВт
Карточка серии	← Вы здесь	Открыть	Открыть	Открыть

Вы смотрите серию МПТ-12-CVD. Рядом в линейке: КАДАММ МПТ-12 · КАДАММ МПТ-14-CVD · КАДАММ МПТ-16-CVD. Модель под ваш процесс поможет выбрать менеджер.

Комплект поставки и гарантия

Комплект поставки

✓ Печь выбранной модели
✓ Рабочая труба в сборе с фланцами и уплотнителями
✓ Обвязка для газа: магистрали, расходомеры и краны
✓ Гарантийный талон и паспорт изделия (руководство по эксплуатации)
✓ Документы о соответствии (сертификаты)

Гарантия и документы

✓ Сервис в гарантийный период и после него
✓ Срок и условия гарантии сообщит менеджер

Часто задаваемые вопросы

Как устроена трубчатая печь?+

Рабочим пространством такой электропечи служит труба из керамики или кварца. Образец кладут внутрь трубы, а саму трубу откачивают или пропускают через неё газ — так получается заданная среда. При 1200–1700 °C в ней отжигают и спекают, синтезируют материалы, выращивают плёнки и обрабатывают небольшие образцы.

По какому принципу подбирать трубу?+

Диаметр определяют габариты образца или лодочки, материал трубы: кварц, длина 1000 мм. Имейте в виду, что равномерно прогретый участок меньше длины самой трубы — его размер указан в таблице в строке «зона постоянной температуры».

Подходит ли печь для процессов в газовой среде?+

Подходит: на фланцах предусмотрены порты для подачи газа, а CVD-версия оснащена максимум тремя линиями подачи (на каждой — расходомер). Из инертных обычно берут азот и аргон; если нужен горючий или реакционный газ, заранее обсудите режим с менеджером.

Где узнать стоимость и как оформить заказ?+

Отправьте запрос кнопкой «Запросить цену» либо подберите комплектацию в конфигураторе — в ответ менеджер пришлёт КП с ценой, сроком поставки и условиями оплаты. Везём в любой регион России.

Чем подтверждено соответствие оборудования?+

Производство работает по системе управления качеством ISO 9001.

Для продаж в России и странах ЕАЭС мы оформляем декларацию о соответствии ТР ТС 004/2011 «О безопасности низковольтного оборудования» и ТР ТС 020/2011 «Электромагнитная совместимость технических средств».

Полезные статьи

Как работает муфельная печь

Устройство, нагреватели, термопары и рабочая температура

Обжиг керамики и глины

Режимы, кривая нагрева и частые ошибки при обжиге

Замена СНОЛ и ЭКПС

Как проверить старую печь и подобрать новую без переделки методик

Методы определения зольности

Топливо, нефтепродукты, мука: ход анализа и требования к печи

Трубчатая печь и CVD

Какие процессы вести и как работать с трубой и газом

Вакуумная печь

Принцип работы, виды и области применения

Поставка и сервис

Поставка

Доставка по всей России

Сроки уточняйте у менеджера

Документация

Полный комплект

Паспорт изделия, руководство по эксплуатации и документы о соответствии

Сервис

Поддержка и ЗИП

Запасные нагреватели, термопары, футеровку и ЗИП поставляем по заказу

* Фактический вид печи может не совпадать с фотографиями: он зависит от типоразмера, комплектации и исполнения. Объём камеры, мощность, контроллер и нагреватель различаются по исполнениям — точные значения приведены в таблице «Технические характеристики».

** Производитель вправе менять характеристики и комплектацию без отдельного уведомления; перед заказом сверьте актуальные данные с менеджером.

Купить КАДАММ МПТ-12-CVD

Подберём состав комплекта, пришлём коммерческое предложение и договоримся о сроках отгрузки.

КАДАММ МПТ-12-CVD · модели, количество, нестандартное исполнение

Спецификация: КАДАММ МПТ-12-CVD

Укажите количество у нужных моделей. Справа собирается спецификация.

Параметр	Описание
Артикул	МПТ-12-CVD
Производитель	КАДАММ