Образец в трубчатой печи находится внутри трубы из кварца или корунда. Фланцы на концах позволяют откачать трубу или пустить через неё газ — так создаётся управляемая среда, которой в коробчатой печи не добиться. Раздел объединяет 9 серий КАДАММ: печи на 1200–1700 °C под трубы Ø40–100 мм с одной или двумя зонами нагрева, серии, поставляемые вместе с вакуумным насосом, и CVD-комплексы, где газовая обвязка рассчитана на три канала.
Коротко о разделе
Трубчатые печи — для небольших образцов: спекание, синтез и отжиг в инертном газе или под разрежением до −0.1 МПа.
Серии МПТ-…Б с насосом в поставке: сочетания диаметр × зона — трубы Ø40–100 мм и обогреваемые участки длиной 205–440 мм.
CVD-системы — комплекс из печи, вакуумной линии и газовой стойки с расходомерами; на нём наносят покрытия и синтезируют наноматериалы.
| Характеристика | Что определяет | Что есть в каталоге |
|---|---|---|
| Диаметр трубы | Размер образца или лодочки | Ø40–100 мм |
| Зона нагрева | Длину образца; изотермический участок короче самой трубы | 200–600 мм |
| Материал трубы | Корунд выдерживает до 1700 °C, кварц — около 1200 °C | кварц или корунд |
| Количество зон | Протяжённая равномерная зона либо нагрев с градиентом | 1 или 2 |
| Рабочая среда | Аргон, азот, вакуум, реакционные газы для CVD | до −0.1 МПа |
Трубчатая печь — лабораторная печь, в которой образец нагревается внутри трубы, то есть не на воздухе, а в вакууме или газе. Устроена она просто — нагреватель вокруг трубы и фланцы на концах, — но результат зависит от подготовки трубы, числа продувок и скорости нагрева.
Серии раздела рассчитаны на 1200–1700 °C, диаметр рабочей трубы — 40–100 мм; высокотемпературная трубчатая печь класса 1700 °C — МПТ-17Б. У серий Б (МПТ-12Б, МПТ-14Б, МПТ-17Б) вакуумный насос входит в комплект. Равномерно прогретый участок короче зоны нагрева: при зоне 420 мм постоянная температура держится примерно на 210–280 мм, поэтому образец ставят в центр. Порядок работы с трубой и газом — в статье лабораторная трубчатая печь и CVD.
CVD-система (МПТ-12-CVD, МПТ-14-CVD, МПТ-16-CVD) — это трубчатая печь, к которой добавлены газовая стойка и вакуумный тракт: газы подаются по отдельным линиям через регуляторы массового расхода, проходят через горячую зону, где прекурсор разлагается и оседает на подложке, а контроллер одновременно ведёт нагрев и расход газов. Температуры систем — 1200–1600 °C.
| Серия | Макс., °C | Труба Ø, мм | Зон нагрева | Материал трубы | Контроллер | Питание | Мощность, кВт | Назначение | Варианты исполнения |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Трубчатые печи | |||||||||
| МПТ-12 | 1200 | 50–100 | 1, 2 | кварц | программа | — | 3, 3,2 | Откидной корпус, зона нагрева 420 мм, трубчатая на 1200 °C | — / С · зон: 1–2 |
| МПТ-12Б | 1200 | 40–100 | — | кварц | программа | 110 / 220 В | 2, 3 | Трубы Ø40–100 мм и зоны 205–440 мм в разных сочетаниях, насос входит в поставку | зоны 205–440 мм |
| МПТ-14 | 1400 | 40–80 | — | корунд | программа | — | 3, 5 | Нагреватели SiC, трубчатая до 1400 °C, длина зоны 200/400 мм | — / С |
| МПТ-14Б | 1400 | 40–100 | — | — | программа | 110 / 220 В | 4, 6, 7 | Набор сочетаний диаметр/зона, 1400 °C, поставка с насосом | зоны 205–440 мм |
| МПТ-16 | 1600 | 50–100 | 1, 2 | кварц | программа | — | 4, 10 | Однозонное и двухзонное исполнение трубчатой печи на 1600 °C | — / С · зон: 1–2 |
| МПТ-17Б | 1700 | 40–100 | — | — | программа | 110 / 220 В | 5, 7 | Сочетания диаметров труб и длин зон, 1700 °C, насос входит в поставку | зоны 205–440 мм |
| CVD-системы на базе трубчатой печи | |||||||||
| МПТ-12-CVD | 1200 | 50–100 | 1, 2 | — | программа | — | 3, 3,2 | Установка CVD на 1200 °C: вакуумная линия и 3 канала газа | — / С · зон: 1–2 |
| МПТ-14-CVD | 1400 | 40–80 | — | — | программа | — | 3, 5 | Нанесение покрытий осаждением, CVD-установка на 1400 °C | — / С |
| МПТ-16-CVD | 1600 | 50–100 | 1, 2 | — | программа | — | 4, 10 | CVD-установка на 1600 °C в однозонном и двухзонном вариантах | — / С · зон: 1–2 |
Каждую печь КАДАММ мы отгружаем с паспортом и русскоязычным руководством по эксплуатации. На оборудование оформлена декларация соответствия ТР ТС 004/2011 и ТР ТС 020/2011 (ЕАЭС), производство по ISO 9001. Для любой серии доступны техописание в PDF и сводный каталог печей; стоимость сообщаем по запросу, доставляем во все регионы России.
Добавьте модели в спецификацию и укажите в комментарии габариты образца, требуемую среду и рабочую температуру — соберём конфигурацию печи и пришлём коммерческое предложение.
Составить спецификацию →Помощь с выбором оборудования
Поможем выбрать модель, комплектацию и подготовить документы для закупки.